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史珺博士:多晶硅铸锭炉的炉前查看
来源:未知 作者:admin 发布时间:2018-10-20 09:43 浏览量:

  史珺博士:多晶硅铸锭炉的炉前查看

  多晶硅铸锭炉在开炉前必需要进行炉前查看。

  因为一旦开端抽真空和加热,尤其是当硅料熔化后,基本上真空熔炼进程就不行逆转,因而,进行炉前查看就是特别必要的,乃至比开炉后的操作还要重要。

  炉前查看的意图是发现炉内存在的安全隐患和事端预兆,并在开端工艺前将之处理。炉前查看的内容可以分为以下几个部分:

  冷却水体系

  首要查看冷却水路是否正常。从冷却水塔开端,到纯净水供应,到水泵、水阀,水压力和水流量表,都要逐个查看。因为一旦冷却水路呈现问题,会使炉温升高乃至熔化,水电缆的水温过高可能会导致水电缆爆裂,水进入炉内乃至硅液而引起爆破,因而,水路查看肯定不行忽略。有必要依照炉前查看表格,逐个查看。水路各元件查看往后,要进行通水实验,看看各冷却水路的进水和出水压力及流量是否正常,假如发现不正常,必定要再进行查看。

  加热供电体系

  加热供电体系包含外部电源、开关、控制箱、功率控制器、变压器等等,也要查看水电缆的状况。此外,炉表里衔接的电极、电缆与石墨件的衔接电极要特别留意。因为供电体系一旦呈现断路或短路,将导致加热无法进行,或许在加热时发生拉弧构成电流不稳定,或许电流时有时无,或许在高温时电流彻底中止,以及三相电流不平衡等等现象,k8凯发官方手机版。这些现象轻者会导致温场不均匀,重者会导致工艺彻底中止,因而,必定要仔细查看。查看炉内电路时,还要留意水电缆外面的绝热层(通常用硅酸盐玻璃布)是否无缺,有无松脱现象,假如有必定要替换或包扎严密。

  炉体部分

  炉体包含上下炉盖和炉身,首要是各焊缝是否有渗水现象,以及炉壁是否清洁。此外,要查看炉内是否有外物,如东西、鞋套或许擦布等。炉壁的清洁十分重要,假如炉壁有脏物,不只影响热效率,更重要的是,因为这些粉尘脏物简单吸附大气以及水气,这会给抽真空带来很大的担负。此外,炉壁的脏物还会污染硅料,导致硅料提纯的失利。炉体的各个法兰因为在重复阅历高温文低温时,会发生变形,这些变形可能会导致密封性差,发生漏气等问题,因而,要查看法兰口是否是保持在一个平面上,别的,还要查看法兰口的密封圈的状况,是否硬化或变形,或许是否有裂口。密封圈的裂口会导致抽真空时漏气。

  石墨加热件

  炉内的石磨加热件是完结整个炉子加热的发热体,也是热场的重要组成部分。其无缺与否直接影响着炉子是否正常作业。加热体由石磨电极、石墨加热棒、加热棒衔接件等几部分组成。石墨件归于耗材,在通过必定时刻的运用后要替换。新的石磨件装置时,要留意衔接不能过松或许过紧,过松时会导致接触不良,乃至在运用中掉落。而过紧则会导致在高温下,或许温度变化时,石墨件因为热应力而开裂。每个石墨件都有必定的标准和尺度,运用一段时刻后,因为硅蒸汽或许氧化的原因,石墨棒会变细,假如石墨棒小于必定的尺度就不能再持续运用了。

  因为硅料熔化后所发生的硅蒸汽会与石墨件反响构成碳化硅,因而,石墨外表常常会发生一层绿色的表层,有时会掉落,有时会紧贴在石墨外表。关于高密度石磨,可能反响较小,但此刻,石墨衔接件出的螺纹的缝隙处,蒸汽会进入,有时还会有硅液溅入,当冷却时,硅液凝结发生胀大,很简单导致石墨件开裂。因而,在所有的缝隙处,最好选用石墨泥将之封口,这样可以使石墨件的寿数大大延伸。